是仅次于大硅片的晶圆制造材料后果自负
2022-03-09 18:22
作者:叶子琪
来源:证券之星 阅读量:8204
四年前,全球光刻机霸主ASML看中了一家中国企业,并为其产品背书。
不容忽视的气体
被卡了脖子
箭在弦上
显示面板上有多种电子专用气体,包括硅烷,磷化氢(PH3),氨气(NH3),三氟化氮(NF3),六氟化硫(SF6),氯气(Cl2),四氟化碳(CF4),三氯化硼(BCl3)和五氟乙炔(C2HF5)等。
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